Current Result Document :
| 한글제목(Korean Title) |
Skip Connection과 Convolutional Autoencoder를 이용한 반도체 결함 분류 모델 |
| 영문제목(English Title) |
Defect Classification Using Skip Connection and Convolutional Autoencoder in Semiconductor |
| 저자(Author) |
차재경
정종필
Jaegyeong Cha
Jongpil Jeong
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| 원문수록처(Citation) |
VOL 22 NO. 02 PP. 0301 ~ 0302 (2021. 10) |
한글내용
(Korean Abstract) |
반도체 공정은 복잡하고 다양한 공정으로 인해 결함을 피할 수 없다. 특히 웨이퍼는 반도체의 생산성과 직결되기 때문에 반도체 제조의 핵심이라고 할 수 있다. 따라서 웨이퍼의 결함을 감지하고 분류하면 엔지니어가 결함의 근본 원인을 해결하고 수율을 개선하는 데 도움이 될 수 있다. 본 논문에서는 웨이퍼 맵 결함 분류를 위해 skip connection을 사용하는 convolutional autoencoder를 제안한다. 그리고 학습된 인코더를 재사용하여 분류기의 훈련 데이터를 인코딩시켜 모델의 성능을 향상시켰다. |
영문내용
(English Abstract) |
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